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2021年8月17日,中欣晶圆首根12寸450公斤投料晶棒问世,该晶棒净重437.7kg,体长2900mm,身长2400mm,良率达到87.6%,相较于之前300公斤投料量时的良率提高了4.6个百分点。9月5日捷报再次传来,第二根12寸450公斤投料晶棒再次拉制成功,参数指标与第一根晶棒相差无异,公司今朝已经具备尺度化量产12寸450公斤投料晶棒的手艺和工艺水平。在全球规模内,中欣晶圆是少少数几家能做到成功拉制12寸450公斤投料晶棒的半导体硅片企业。中欣晶圆投料晶棒研发团队相关人员暗示:此次“超重”晶棒的拉制成功对企业具有里程碑式的意义,其优势在于:一、实现工艺晋升在晶棒拉制过程中,投料越多对工艺、单晶炉台控制精度城市有更高的要求。因为32寸石英坩埚一次性最多能装340公斤的多晶硅料,所以投料量增添至450公斤必需要采用二次投料手艺来实现。自中欣晶圆12寸450公斤投料晶棒研发项目成立以来,研发团队在前期8寸二次投料基本之上,按照12寸单晶炉结构设计配套使用二次投料工装。顺遂完成所有部件组装后,研发小组在空炉情形下进行试用,并最终成功实现持续2根12寸450公斤投料晶棒的拉制,带动工艺晋升。未来中欣晶圆12寸450公斤投料晶棒将会形成尺度化量产。二、有用晋升产量和良率年夜质量晶棒的拉制成功使得中欣晶圆月产量得以晋升,与此同时,年夜质量晶棒长度增添晋升了单根晶棒的可操作率,有助于晋升12寸硅片的良率和不变性。三、实现降本增效年夜质量晶棒在直径不异的情形之下,意味着长度的增添,头料和尾料响应削减,从而能够晋升晶棒的可操作率,实现降低成本增添效益;另一方面投料量增添,使用同样坩埚及辅材增添产出,节约坩埚和辅材使用量,降低成本。 中欣晶圆拥有国内前进前辈的半导体硅片出产线,是国内少少数能量产12英寸年夜硅片的半导体材料企业,今朝具有6英寸及以下40万片/月、8英寸45万片/月、12英寸10万片/月的产能,将在2022年12英寸拥有20万片/月出产能力,产物为抛光片(重掺/轻掺/Cop-free)和外延片,首要用于逻辑芯片(Logic)、闪存芯片(3D NAND & Nor Flash)、动态随机存储芯片(DRAM)、图像传感器(CIS)、显示驱动芯片(Display Driver IC)等。中欣晶圆苦心专研手艺,已在12英寸重掺砷低电阻率2.3—3毫欧、重掺红磷低电阻率1.3毫欧上取得打破,达到国内外前进前辈水平,并最先向国内外客户供给正片。(美通社,2021年9月16日杭州) 阅读全文: 中欣晶圆:持续成功拉制12寸450公斤投料晶棒,量产可期

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